实验室目前拥有特色的实验设备包括激光脉冲沉积系统和电沉积覆镍深冲钢带中试生产线等制膜设备，以及微纳米综合力学测试系统(纳米压痕仪)和自行设计研制的鼓包法薄膜力学性能测试系统等性能表征设备，价值5000余万元。详细情况见下表
| | 编号 | 仪器名称 | 型号 | 厂家 | 帐面原 值(万元) | 购置年份 |
| 帐面原值50万元以上的仪器设备 | 1 | 覆镍深冲钢带中试生产线 | | 自主研制 | 110 | 2002 |
| 2 | 微纳米综合力学测试系统 | Triboindenter | Hysitron Inc. | 176 | 2005 |
| 3 | 核磁共振仪 | 400MHz | Bruker公司 | 230 | 2004 |
| 4 | 扫描电子显微镜 | JSM-6360LV | 日本电子 | 133 | 2004 |
| 5 | 核磁共振波谱仪 | R-24B | 日本日立 | 120 | 1988 |
| 6 | 高分辨透射电镜 | JEM－2100 | 日本电子 | 360 | 2006 |
| 7 | X射线光电子能谱仪 | AXIS-ULTRA型 | 英国KRATOS ANALYTICAL Ltd. | 500 | 2006 |
| 8 | 多功能X射线衍射仪 | D8 ADVANCE | 德国BRUKER AXS | 160 | 2005 |
| 9 | 5英寸脉冲激光沉积系统 | PLD－5000 | 美国PVD公司 | 420 | 已招标 |
| 10 | 力－电－磁－热耦合加载与自动测量系统 | | 北京赛迪机电新技术开发公司 | 120 | 2006 |
| 11 | 计算机群 | | | 360 | 2007 |
| 12 | 扫描探针显微镜 | SPA－300AV | 日本 | 175 | 已招标 |
| 13 | X射线粉末衍射仪 | D/Max-3c | 日本理学电机 | 76 | 1988 |
| 14 | 扫描电子显微镜 | S-570 | 日本日立 | 68 | 1988 |
| 15 | 色谱质谱联用仪 | QP-1000A | 中科院仪器厂 | 56 | 1989 |
| 16 | 铁电分析仪 | Precision Workstation | Radiant Technologies,Inc., | 56 | 2005 |
| 17 | 英国输力强电化学测试系统 | 1260+1287+1296 | 英国输力强公司 | 56 | 2005 |
| | 18 | 基于鼓泡法的数字散斑薄膜变形测量系统 | TS-200 | 自行研制 | 40 | 2008 |
| 19 | 表明张力/接触角测试系统 | Model250 | 美国 | 22 | 2008 |
| 20 | 声发射仪 | PCI－II | 美国PAC | 20 | 2008 |
| 21 | 开尔文探针系统 | SKP5050 | 英国 | 43 | 2008 |
| 帐面原值50万元以下的仪器设备 | 22 | ABQUS软件 | 7.5 | | 15 | 2006 |
| 23 | 红外分光光度计 | FTS-40 | 美国BIO-RAD | 15.8 | 1990 |
| 24 | 高温金相显微镜 | HM-100 | 日本UNION | 35 | 1985 |
| 25 | 热分析系统 | DT-40 | 日本岛津 | 12 | 1990 |
| 26 | 原子外延激光镀膜仪 | JDM-2 | 自主研制 | 32 | 1996 |
| 27 | 真空镀膜仪 | DMDE | 北京仪器厂 | 7.5 | 1988 |
| 28 | 拉曼分光光度计 | R-500 | 日本光谱仪器 | 20 | 1990 |
| 29 | 电子万能试验机 | RG2000-1000 | 深圳瑞格尔仪器公司 | 31.8 | 2002 |
| 30 | 金相显微镜 | OLMPUS-PME3 | 日本OLMPUS | 21.8 | 2002 |
| 31 | JM-HR I型高功率激光器 | JM-HR I | 北京中力机电公司 | 26 | 2000 |
| 32 | 差热分析仪 | DSC-7 | 美国PE公司 | 28 | 1995 |
| 33 | 微机控制电子万能试验机 | WDT-5 | 凯强利试验仪器公司 | 9 | 2005 |
| 34 | 元素分析仪 | PE2400 | 美国PE公司 | 10 | 1989 |
| 35 | 红外光谱仪 | Spectra One | 美国PE公司 | 34.5 | 2002 |
| 36 | 红外分光光度计 | 1710 | HP公司 | 16 | 1987 |
| 37 | 紫外分光光度计 | UV-265 | 日本岛津 | 20 | 1987 |
| 38 | 动态热机械分析仪 | DMTA-V | 美国PE公司 | 47 | 2002 |
| 39 | 偏光显微镜 | DMLM/P | 德国LEICA公司 | 21 | 2002 |
| 40 | 脉冲激光原子层系统 | | 沈阳超高真空技术所 | 19 | 1996 |
| 41 | 高纯锗探测器 | CMX-35195P | 美国EG&G | 11 | 1989 |
| 42 | 高频C-V特性测试仪 | keithly | 美国吉时利公司 | 15 | 2006 |
| 43 | 双功能真空电炉 | WK | 北京物科 | 20 | 2006 |
| 44 | 高精密度旋光仪 | Model314 | 美国PE | 30 | 2006 |
| 45 | 气相色谱仪 | GC-9A | 392 岛津 | 10 | 1987 |
| 46 | 荧光光度计 | LS55 | 美国PE公司 | 26 | 2003 |
| 47 | 自动切割； 镶样； 磨样、抛光系统 | 11-2680 ISOMET 4000； 20-1415； 49-5102-230/60-1990 Beta/Vector | 美国标乐公司 | 25 | 2007 |
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